一般，按加工精度區(qū)分，機械加工可分為一般加工、精密機械加工、超精密機械加工三個階段。
現(xiàn)在，精密機械加工是指加工精度為1~0.1?m，外表粗糙度為Ra0.1~0.01?m的加工技能，但這個界限是隨著加工技能的前進不斷變化的，今天的精密機械加工可能就是明天的一般加工。
精密機械加工所要解決的問題：
一是加工精度，包含形位公差、尺度精度及外表情況；
二是加工功率，有些加工能夠獲得較好的加工精度，卻難以獲得高的加工功率。精密機械加工包含微細加工和超微細加工、光整加工等加工技能。傳統(tǒng)的精密機械加工方法有砂帶磨削、精密切削、珩磨、精密研磨與拋光等.
超精密機械加工包含哪些呢？
超精密機械加工包含微細加工、超微細加工、光整加工、精整加工等加工技能。微細加工技能是指制作細小尺度零件的加工技能；超微細加工技能是指制作超細小尺度零件的加工技能，它們是針對集成電路的制作要求而提出的，由于尺度細小，其精度是用切除尺度的絕對值來表明，而不是用所加工尺度與尺度差錯的比值來表明。光整加工一般是指下降外表粗糙度和進步外表層力學機械性質(zhì)的加工方法，不著重于進步加工精度，其典型加工方法有珩磨、研磨、超精加工及無屑加工等。實際上，這些加工方法不僅能進步外表質(zhì)量，并且能夠進步加工精度。精整加工是近年來提出的一個新的名詞術(shù)語，它與光整加工是對應(yīng)的，是指既要下降外表粗糙度和進步外表層力學機械性質(zhì)，又要進步加工精度(包含尺度、形狀、位置精度)的加工方法。
現(xiàn)在超精密機械加工的精度情況如何？
現(xiàn)在世界上超精密機械加工達到的最高技能水平如下：加工精度0.025μm，外表粗糙度Ra0.0045μm，即已進入了納米級加工精度的時代。在丈量技能方面，對小位移的丈量：電容式測頭分辨率可做到0.5nm(量程為15μm)和0.1nm(量程為5μm)，線性差錯小于0.1%；光電子纖維光學測頭的分辨率可到0.5nm(量程為30μm)，線性差錯為5%；掃描隧道顯微鏡(STM)的分辨率可達0.01nm(量程20mm時)；X射線干涉儀的分辨率還做到0.003nm(量程200μm時)。對大長度尺度的丈量，外差式激光干涉儀的分辨率可做到1.25nm(量程±2.6m)；氦氖激光(實驗室)的分辨率可做到0.01μm(量程為2mm)；莫爾條紋光學尺的分辨率可做到10nm(量程1m)，精度為1μm/m。對視點丈量，莫爾條紋視點光學尺的分辨率可做到0.005"(360°范圍)，精度0.1"，因此丈量方面基本上滿足了納米級加工技能要求。
怎么區(qū)分精密機械加工和超精密機械加工？
一般稱低于3 μm精度的加工為普通精度，而高于此值的加工則你之為超精度加工。
在高精度訓工的范疇內(nèi)，依據(jù)精度水平的不同，分為三個檔次:
精度為3～O．3 μm，粗糙度為O．3～O·03μm的叫精密機械加工；
精度為0．3～0．03 μm，粗糙度為0．03～0．005 μm的叫超精密機械加工，或亞微米加工；
精度為0．03 μm（30納米），粗糙度優(yōu)于0．005 μm以上的則稱為納米（nm）加工。
